ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物(ガラス基板等)を固定するために用いられます。
本製品は1300mm×1300mm×30mmと大きく薄い加工物ですが、上面全体の平面度公差が0.01~0.03mmと、非常に高い精度を切削加工のみで実現しております。
加工機:門型マシニングセンター
材質:アルミ合金(A5052)
寸法:1300×1300×30
面粗度:Rz6.3
平面度:0.03 (実測 0.015)
この大きさでこの薄さの加工物では歪みが出るのは当たり前となります。いかに歪みがなく、尚且つ効率的に加工ができるかが、焦点となります。
また、特に面積が大きい為、平面度を出す加工技術以外に、加工時・測定時の温度管理及び測定機器の精度が要求されます。